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VSU

高効率空気分離装置


VSU:高効率空気分離装置

製品概要・特徴

液化窒素・液化酸素を同時に生産する高効率空気分離装置です。地域分散型産業ガス供給ネットワークとして全国主要拠点に
配置し、タンクローリー輸送距離短縮によるCO2削減を可能にしました。装置には独自プロセスを採用して、電力原単位削減を実
現しています。付帯する複合貯槽は真空断熱された外槽内に独立したCEを複数本内蔵した省スペース型大型貯槽です。

用途

液晶・プラズマディスプレイ・半導体・太陽電池・鉄鋼・化学・ガラス工場等への地域分散型産業ガス供給拠点

仕様

項目 液化酸素 液化窒素
発生量(Nm3/hr) 500~700 700~1600
純度(%) 99.8 99.999

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