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CMP SYSTEM

CMPスラリー調合供給システム


CMPスラリー調合供給システム

米国、Megafluid社との技術提携による基本技術を基に、開発・設計・製造を当社で実施し、国内顧客のニーズに最適なシステムを提供します。

独自の調合送液システムによりスラリー粒子凝集レス供給を実現

Magniflo™ ポンプ(磁気浮揚遠心ポンプ)、コニカル形状タンク、独自のタンク内加湿システム、自動洗浄機能、攪拌機を使わないタンク内攪拌システム(Cu-jet™)

365日、24時間安定稼動

調合・供給タンクユニット、供給ポンプ及びグローバルループの2重化構成の採用。

1システムでの2種スラリー連続調合供給に対応したシステム

スラリー種の変更を量産現場でスムーズに行う為に、2種類のスラリーを連続的に供給できるシステムもラインアップ。

各種CMPアプリケーションに対応した製品ラインナップ

・大規模集中供給システム;最大20テーブルに対応
・中規模供給システム;4~8テーブル
・小規模供給システム;1~2テーブル
・界面活性剤加圧圧送システム
・2種スラリー連続供給システム
・フルリダンダントシステム

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