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Atmospheric pressure plasma surface treatment equipment

大気圧プラズマ表面処理装置


大気圧プラズマ表面処理装置

リモート型表面処理装置
ダイレクト型表面処理装置

豊富なプロセスガスの供給と処理対象に応じた2つのプラズマ発生装置

大気圧プラズマとは、従来は真空プロセスが必要であった「プラズマ」(ガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態)を大気圧下で安定して発生させる技術です。極めて活性なため低温での処理が可能であり、また、薬液などを使用しないため、環境にやさしく生産性に優れた表面改質方法です。 エア・ウォーターでは、この大気圧プラズマ技術を確立し、フィルムを高速・連続に処理する「ダイレクト型表面処理装置」と、ガラスや基板にプラズマを照射して洗浄・改質処理する「リモート型表面処理装置」の2方式の装置を開発しました。これまで蓄積した各種産業ガスアプリケーションとの組み合わせにより、製品の品質と生産性の向上を実現する新しいソリューションをご提案します。

リモート型表面処理装置

適用分野

・液晶・PDPガラスのレジスト塗布前洗浄
  • ・電子部品のポンディング前洗浄
  • ・フィルム・樹脂成形体の接着性改善処理

特徴

・安価な窒素ガス(N2)を使用(低ランニングコスト)
  • ・インライン・高速洗浄
  • ・メンテナンスフリー
  • ・大型化対応(~2,500mm)


適用用途

・液晶ガラス・基板の洗浄

仕様

液晶ガラス世代 第5世代(5G) 第8世代(8G)
プラズマ照射幅 1,200 mm 2,500 mm
ユニットサイズ L 1,400 mm ×
W 300 mm ×
H 300 mm
L 2,700 mm ×
W 300 mm ×
H 300 mm
所用電力 5 kW 10 kW
プロセスガス 窒素+酸素、窒素+乾燥空気 窒素+酸素、窒素+乾燥空気

ダイレクト型表面処理装置

適用分野

・フレキシブル回路板(FPC)用ポリイミドの銅箔接着前処理
  • ・液晶ディスプレイ用光学フィルムの塗工前処理
    (偏光フィルム、反射防止フィルムなど)
  • ・太陽電池モジュール裏面シート用
  • ・フッ素系フィルムの接着前処理

特徴

・安価な窒素ガス(N2)でも均一処理可能(低ランニングコスト)
  • ・小型、軽量、コンパクト
  • ・高速、連続処理で高スループットを実現
  • ・ガス種のノウハウ蓄積であらゆる表面改質に適応


適用用途

・フィルムの濡れ性改善、接着性改善

仕様

処理速度 最大 50m/min
フィルム幅 最大 2,000mm
フィルム厚 10 ~ 125 μm
プロセスガス 窒素、アルゴン、ヘリウム、酸素、その他ガス多数

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