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High Purity Gas Purifier

高純度ガス精製装置


高純度ガス精製装置

製品概要・特徴

超高純度ガス精製装置は反応・吸着・分離の技術をベースに不純物をppbレベルまで除去し、超高純度ガスを安定供給します。
ユースポイントで求められている高品質・安定性・経済性をクリアし高純度ガス供給を果たしています。

用途

窒素・酸素・アルゴン・水素の精製

仕様

精製ガス流量(Nm3/hr) 10~100
純度(%) 99.99999

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