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VSS-GC

シリンダーキャビネット


VSS-GC:シリンダーキャビネット

製品概要・特徴

特殊ガス供給とコンパクト設計を目的に開発。容器弁の開閉状態も自動確認方式を採用し、安全に安定供給するためのシステ
ムは全自動化され、配管内体積を最小にすることで継手数削減や、バキュームジェネレーターによるパージアシストで高純度化
を実現しています。

用途

半導体・液晶・太陽電池生産設備向け特殊ガス供給設備

仕様

VSS-GC① 材料ガス容器本数(1~6)
VSS-GC② 供給系列(1~2)
VSS-GC③ O:高圧気密容器・パージ容器なし
H:高圧気密容器あり
N:高圧気密・パージ容器あり
VSS-GC④ A:配管非研磨仕様
S:配管研磨仕様
US:配管研磨+ブロック弁仕様
VSS-GC⑤ 無記入:ステンレス仕様
C:ハステロイ仕様

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