アプリケーションテクノロジー
超低温/LNG関連エンジニアリング
半導体関連エンジニアリング
産業ガス関連エンジニアリング
大型ガス発生装置製作大気圧プラズマ リモート型表面処理装置
用途
微細回路基板、ガラス、電池用材料等の洗浄
特徴
ガラスは回路基板などの表面改質、洗浄を行うことができます。安価な窒素ガス(N2)をプラズマ化して表面に吹き付けるタイプで、インライン・高速洗浄・メンテナンスフリーで非常に使い勝手の良い装置です。
細化した回路の隙間までプラズマ処理が可能で、エッチング前処理や漏れ性改善に有効です。
仕様
| プラズマ照射幅 | 200mm | 400mm | 600mm | 800mm |
|---|---|---|---|---|
| 所用電力 | 2kW | 4kW | 6kW | 8kW |
| プロセスガス | 窒素＋酸素、窒素＋乾燥空気、その他ガス添加可能 | |||