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半導体関連エンジニアリング

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半導体製造に欠かせない高純度バルクガスと特殊材料ガスの供給システムを提供しております。
バルクガス・特殊材料ガス高純度配管 / 精製装置 / シリンダーキャビネット / 除外装置 / ガス警報システム / ガス分析システム
2023年4月より、エア・ウォーター・メカトロニクスへ事業移管されました。
高純度ガス精製装置HIGH PURITY GAS
VSS-GC:シリンダーキャビネットVSS-GC
VSS-VMB:
バルブマニホールドボックスVSS-VMB

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