アプリケーションテクノロジー
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半導体関連エンジニアリング
産業ガス関連エンジニアリング
大型ガス発生装置製作大気圧プラズマ チューブ型表面処理装置
用途
接着性改善、漏れ性改善
特徴
チューブ形状の内面もしくは外面の表面処理を行うことができる特殊な大気圧プラズマ処理装置です。接着性改善、漏れ性改善など、平面上で行うようなプラズマ処理と同様な表面改質を実現できます。
仕様
| チューブ径 | Φ1〜100 |
|---|---|
| チューブ肉厚 | 20μm〜1mm |
| プロセスガス | アルゴン、ヘリウム、酸素、専用特殊ガス |
| チューブ径 | Φ1〜100 |
|---|---|
| チューブ肉厚 | 20μm〜1mm |
| プロセスガス | アルゴン、ヘリウム、酸素、専用特殊ガス |