アプリケーションテクノロジー
超低温/LNG関連エンジニアリング
半導体関連エンジニアリング
産業ガス関連エンジニアリング
大型ガス発生装置製作高純度ガス精製装置
製品概要・特徴
超高純度ガス精製装置は反応･吸着･分離の技術をベースに不純物をppbレベルまで除去し、超高純度ガスを安定供給します。
ユースポイントで求められている高品質･安定性･経済性をクリアし高純度ガス供給を果たしています。
ユースポイントで求められている高品質･安定性･経済性をクリアし高純度ガス供給を果たしています。
用途
窒素･酸素･アルゴン･水素の精製
仕様
| 精製ガス流量(Nm3/hr) | 10～100 |
|---|---|
| 純度(％) | 99.99999 |
| 精製ガス流量(Nm3/hr) | 10～100 |
|---|---|
| 純度(％) | 99.99999 |