アプリケーションテクノロジー
超低温/LNG関連エンジニアリング
半導体関連エンジニアリング
産業ガス関連エンジニアリング
大型ガス発生装置製作VSS-GC:シリンダーキャビネット
製品概要・特徴
特殊ガス供給とコンパクト設計を目的に開発。容器弁の開閉状態も自動確認方式を採用し、安全に安定供給するためのシステ
ムは全自動化され、配管内体積を最小にすることで継手数削減や、バキュームジェネレーターによるパージアシストで高純度化
を実現しています。
ムは全自動化され、配管内体積を最小にすることで継手数削減や、バキュームジェネレーターによるパージアシストで高純度化
を実現しています。
用途
半導体・液晶・太陽電池生産設備向け特殊ガス供給設備
仕様
| VSS-GC① | 材料ガス容器本数(1～6) |
|---|---|
| VSS-GC② | 供給系列(1～2) |
| VSS-GC③ | O:高圧気密容器･パージ容器なし H:高圧気密容器あり N:高圧気密･パージ容器あり |
| VSS-GC④ | A:配管非研磨仕様 S:配管研磨仕様 US:配管研磨+ブロック弁仕様 |
| VSS-GC⑤ | 無記入:ステンレス仕様 C:ハステロイ仕様 |