アプリケーションテクノロジー
超低温/LNG関連エンジニアリング
半導体関連エンジニアリング
産業ガス関連エンジニアリング
大型ガス発生装置製作VSS-VMB:バルブマニホールドボックス
製品概要・特徴
半導体設備から、液晶･太陽電池等の各生産設備へ特殊ガスを分岐供給するための設備です。VSS-GCの設計コンセプトを取
り込むことで、装置のコンパクト化や性能向上を実現しました。全自動化による安全性と、ディスプレイ画面上での対面式操作に
よる操作性の向上を実現しています。
り込むことで、装置のコンパクト化や性能向上を実現しました。全自動化による安全性と、ディスプレイ画面上での対面式操作に
よる操作性の向上を実現しています。
用途
半導体・液晶・太陽電池生産設備向け特殊ガス分岐供給設備
仕様
プロセスガス1系列2分岐～5分岐、高純度毒性･可(自)燃性･支燃性･腐食性等の高反応性の特殊材料ガスに対応。
御要望に応じ、製作を承ります。