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高純度配管・半導体エンジニアリング

高純度配管・半導体エンジニアリング

産業ガスのソリューション。ガステクノロジーによるプロデュース。私達と共に創る未来への架け橋。

液晶･太陽電池･半導体での産業分野は高純度ガスと共に歩んできました。高純度ガスの供給は当社の配管技術や溶接技術が活かされ、厳しい品質管理のもと製作施工しています。この技術はバルクガス並びに特殊ガス供給配管から精製装置･シリンダーキャビネット･除害装置･ガス警報システム、ガス分析システムの製作に繋がっており、安定かつ安全なガス供給システムを提供しています。
高純度ガス精製装置HIGH PURITY GAS
VSS-GC:シリンダーキャビネットVSS-GC
VSS-VMB:
バルブマニホールドボックスVSS-VMB
DOクランプDO CLAMP
MIXマスターMIX MASTER
VCE:
高真空エピタキシャル成長装置VCE

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